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硅片清洗機(jī)的概念及工作原理

發(fā)布時間:2023-05-24 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:800次

硅片清洗機(jī)是一種專門用于清洗硅片或其他半導(dǎo)體材料的設(shè)備。它具有高效、自動化、可靠性高等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造業(yè)、LED制造業(yè)等領(lǐng)域。


硅片清洗機(jī)通常采用物理清洗和化學(xué)清洗兩種方式對硅片進(jìn)行深度清潔。物理清洗主要是通過高功率超聲波波浪進(jìn)行清洗,可以有效去除硅片表面附著的灰塵、油污和殘留物;而化學(xué)清洗則采用化學(xué)試劑,通過浸泡法或者噴淋法對硅片進(jìn)行表面處理,去除無機(jī)物和有機(jī)污漬,以達(dá)到清潔的目的。硅片清洗機(jī)還可以使用去離子水沖洗,并在清洗后使用干燥系統(tǒng)將其干燥,以避免二次污染。


在清洗前,硅片需要先放入載架中,然后通過計算機(jī)或者微控制器進(jìn)行選擇性操作和控制,使得硅片能夠被逐一清洗。同時硅片清洗機(jī)還配備了預(yù)處理系統(tǒng)和在線監(jiān)測系統(tǒng),方便操作人員實時了解清洗質(zhì)量和清洗過程中的參數(shù)情況。


總的來說,硅片清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造過程中必要的一環(huán),確保半導(dǎo)體生產(chǎn)的質(zhì)量可靠和一致。除了提高生產(chǎn)效率和減少生產(chǎn)成本外,它還可以大幅度降低制造過程中的風(fēng)險和減輕環(huán)境污染。


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